Zusammenfassende Auswertung der bildlichen Darstellung der Ergebnisse am Rasterelektronenmikroskop (REM) in Kombination mit quantitativen Punktanalysen (EDX – energiedispersive Analyse). Im Beispiel ist in der REM-Übersichtsaufnahme erkennbar, dass die größeren Carbidteilchen einen kleinen, etwas dunkleren Kern aufweisen, der von einem relativ breiten helleren Rand umgeben ist.
Mit der REM-EDX-Analyse kann der Elementegehalt innerhalb der Teilchen ermittelt werden. Die beiden analysierte Teilchen unterscheiden sich vor allem im Ti-Gehalt. Die REM-EDX-Analyse kann auch entlang einer Linie im interessierende Probenbereich durchgeführt werden, und im Ergebnis wird die Elementverteilung in Form eines EDX-Line-Scans erzeugt.
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