Gerät zur Untersuchung von kleinsten Gefügedetails an speziell präparierten Werkstoffproben in sehr hoher Vergrößerung (bis zu 200.000-fach).
Ein feinfokussierter Elektronenstrahl durchstrahlt eine stellenweise auf wenige nm abgedünnte Probe ober einen dünnen Folienabdruck. Die dabei auftretenden Wechselwirkungssignale werden ausgewertet:
- Sekundärelektronen – Sichtbarmachung von Gefügedetails, Abbildung von Versetzungen, Ausscheidungen und andere,
- rückgestreute Elektronen – Identifizierung von Gefügebestandteilen über den Ordnungszahlkontrast,
- charakteristische Röntgenstrahlung (EDX) – Informationen über die örtliche chemische Zusammensetzung,
- charakteristischer Energieverlust der Elektronen (EELS) – Informationen über die örtliche chemische Zusammensetzung,
- gebeugte Elektronen – Informationen über die lokal vorliegende Kristallstruktur.
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