Ionenstrahl-Ätzung

Verfahren zur Herstellung durchleuchtbarer Proben für die Elektronenmikroskopie und Infrarot-Spektroskopie, die dünner als 1  μm sein müssen. Da die üblichen Schleifmittel für diese Aufgabe viel zu grob sind, benutzt man eine Ionenätzeinrichtung. In einer Ionenquelle wird ein Strahl von positiv aufgeladenen Edelgasionen erzeugt und beschleunigt. Beim Auftreffen auf die zu ätzende Werkstoffoberfläche wirkt der Ionenstrahl wie ein „Sandstrahl“. Durch Zerstäuben der Oberflächenatome wird die Probe so weit gedünnt, wie es für die Untersuchungen erforderlich ist, ohne dass Gefüge und Feinstruktur im Innern des verbleibenden Präparatscheibchens zerstört werden. Die dabei zerstäubten Atome können in einem Massenspektrometer auf ihre Bestandteile genau analysiert werden.